说起尹志尧的传奇创业历程，颇有点像当年的钱学森。

尹志尧，1944年出生于北京，今年已经75岁了，是中微公司董事长兼首席执行官，在科创板首批25家公司中，他是年纪最大的董事长，而且他是60岁才归国创业的。

尹志尧出生在一个爱国世家，祖父是庚子赔款留学生，父亲是留日回国报效的电化学专家。也许是家族基因影响，尹志尧也是学霸，1967年毕业于中国科技大学化学物理系。1978年，他考入北京大学化学系。1980年，他获北大化学系硕士学位，然后到加州大学洛杉矶分校攻读博士学位，仅仅三年半，他就拿到物理化学博士学位。

此后20年里，尹志尧一直在硅谷工作，先后在英特尔、泛林、应用材料等半导体行业的国际巨头工作。归国前，他已在全球最大的半导体设备公司——应用材料做到总公司副总裁，等离子体刻蚀事业群总经理，其领导和参与开发的刻蚀设备，几乎占到了全世界的一半。个人在半导体行业拥有86项美国专利和200多项各国专利，被誉为“硅谷最有成就的华人之一”。

60岁准备退休的那年，尹志尧做了一个让人意外的决定，回到中国。做出这个决定是因为同学的一句话，当时担任上海市经济委员会副主任的江上舟，是尹志尧北京四中的校友，一次国际半导体设备展上，他与尹志尧不期而遇。他问尹志尧：“看来刻蚀机比原子弹还复杂，我们能不能自己把它造出来？”

对于要不要回国，在美国已经生活20年的尹志尧有点犹豫。江上舟又说：“我是个癌症病人，只剩下半条命，哪怕豁出命去，也要为国家造出刻蚀机。我们一起干吧！”这句话激发了尹志尧爱国情愫，他说：“给外国人做了这么多年嫁衣，是时候给祖国和人民做点贡献了。”

2004年，尹志尧带着15人专业团队飞抵上海，震惊了硅谷的同行，让人想起当年钱学森的归国。60岁的尹志尧在上海创立中微半导体，开始新创业。等离子体刻蚀机是芯片制造仅次于光刻机的最重要的微观加工核心设备，加工精度在纳米级。没有刻蚀机就无法制造芯片，而这一芯片制造的关键设备，一直被应用材料、泛林和东京电子等国际大公司垄断。

尹志尧创办中微半导体后，这一格局被打破了。2007年，回国仅仅三年的中微团队研发出了第一代介质刻蚀机，在业内首次采用可单台独立操作的双反应台，效率比国外同类产品高出30%以上。这是中国第一次能够生产这样高端的半导体设备。

目前，尹志尧的团队已开发出生产7nm到5纳米器件的设备，已经与世界最前沿技术比肩。尹志尧这样形容中微的技术：“在米粒上刻字的微雕技艺上，一般能刻200多个字已经是极限，而我们的等离子刻蚀机在芯片上的加工工艺，相当于可以在米粒上刻1亿个字到10亿个字的水平。”

然而，创业不是一帆风顺的。就在中微推出自己的产品后不久，尹志尧就被前东家应用材料推上了美国联邦法院的被告席。应用材料认为，一定是从应材出来到中微的人盗用了公司的技术，毕竟他们熟悉应材的技术。尹志尧丝毫不慌张，中微聘用了美国一流的律师，用两年半的时间和2500万美元的律师费，彻查了600万件内部文件，证明了自己的清白，最终与应材和解。

几年来，中微一直和美国三大公司打官司，最后都赢了。这是因为尹志尧早就做了充分准备，2004年回国的时候，尹志尧带回的十几个顶尖专家，搞的都是高端设备，风险很大，所以特别小心。所有的人所有的电脑、U盘全都不让带，每人都签字画押，宣誓不带什么东西。

而且，中微对竞争者的3000多个专利做了深入分析，确保自己的设计不会侵犯任何人的专利。对中微自己独特的的设计，也申请了1000多个专利，还对竞争对手可能在哪些方面向我们发难也做了充分的准备。所以，尹志尧不怕打官司，能够在重重压力下脱颖而出。

中微已成为我国半导体高端设备的领军企业，国际半导体产业的一颗新星。美国商业部在2015年宣布，“由于在已有一家中国的公司做出来和美国相当数量和同等质量的刻蚀机”，所以去掉了对中国的出口控制。美国半导体产业著名的市场分析公司VLSI Research 在对全球半导体设备公司客户满意度的评比中，中微被评为第三名，仅次于荷兰的ASML 光刻机公司和一个美国公司。